吉時(shí)利S530型參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)

業(yè)界性?xún)r(jià)比最高的全自動(dòng)參數(shù)測(cè)試儀

S530參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)工藝控制監(jiān)測(cè)、工藝可靠性監(jiān)測(cè)和器件特性分析所需的全部直流和C-V測(cè)量功能。這類(lèi)系統(tǒng)針對(duì)混合了多種產(chǎn)品和技術(shù)的測(cè)試環(huán)境進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，例如產(chǎn)線(xiàn)和研究實(shí)驗(yàn)室。S530系統(tǒng)還具有業(yè)界領(lǐng)先的測(cè)試序列靈活性、自動(dòng)測(cè)試功能、探針臺(tái)集成和測(cè)試數(shù)據(jù)管理功能。S530針對(duì)不同的參數(shù)測(cè)試應(yīng)用環(huán)境提供了三種標(biāo)準(zhǔn)配置：

l S530基礎(chǔ)系統(tǒng)是業(yè)界性?xún)r(jià)比最高的全功能參數(shù)測(cè)試儀。它能夠提供具有很好測(cè)量靈敏度的1A電流源或200V電壓源，非常適合于通用的工藝監(jiān)測(cè)應(yīng)用。

l S530低電流系統(tǒng)基于一種超低漏流的開(kāi)關(guān)矩陣和具有亞皮安級(jí)測(cè)量分辨率的靈敏測(cè)量技術(shù)。他適合于亞微米硅MOS工藝的特性分析。

l S530高壓系統(tǒng)能夠提供高達(dá)1000V的電壓，可用于汽車(chē)電子和電源管理測(cè)試應(yīng)用所需的復(fù)雜的擊穿和漏流測(cè)試。

S500集成測(cè)試系統(tǒng)

滿(mǎn)足新興測(cè)試和成熟測(cè)試需求的靈活方案

S500集成測(cè)試系統(tǒng)是高度可配置的，基于儀器的系統(tǒng)，用于器件級(jí)、晶圓級(jí)或晶匣級(jí)半導(dǎo)體特性分析。基于吉時(shí)利久經(jīng)驗(yàn)證的測(cè)量?jī)x器。S500系統(tǒng)新穎的測(cè)量特點(diǎn)和系統(tǒng)靈活性可根據(jù)您的需求進(jìn)行拓展。S500系統(tǒng)的設(shè)計(jì)遵循3項(xiàng)吉時(shí)利標(biāo)準(zhǔn)原則;配置、集成和定制。這意味著您將獲得一套面向半導(dǎo)體特性分析的全面測(cè)試系統(tǒng)：集成了業(yè)界領(lǐng)先吉時(shí)利硬件和高度可配置ACS軟件（包括器件特性分析、可靠性/WLR、參數(shù)和器件功能測(cè)試）。憑借吉時(shí)利久經(jīng)驗(yàn)證的測(cè)量?jī)x器和用戶(hù)友好的ACS軟件，S500的配置、集成和定制特性同時(shí)融合了只有吉時(shí)利才能提供的應(yīng)用體驗(yàn)。

l 高度可配置，基于儀器的系統(tǒng)

l 直觀的測(cè)試設(shè)置、數(shù)據(jù)采集以及用ACS軟件進(jìn)行分析

l 吉時(shí)利的TSP-Link 背板提供高速測(cè)量吞吐量

l 全面控制自動(dòng)和半自動(dòng)探針

l 開(kāi)發(fā)和運(yùn)行器件級(jí)、site級(jí)、晶圓級(jí)和晶匣級(jí)測(cè)試